合肥研究院承担的国家科技重大专项课题通过验收
发布时间:2020-01-14 18:43:08
阅读:次
来源:真空泵厂家
3月12日至14日,中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所承担的课题“双腔同步全固化激光电源及输出能量稳定系统研究”通过了国家科技重大专项实施管理办公室的验收。该课题成功为MOPA结构的准分子激光器提供低抖动全固化的高脉冲快放电电源,并实现了通过反馈控制系统实现激光输出能量稳定。该课题的成功验收为光刻机的零部件国产化打下基础,具有重大的直接经济效益和社会效益。
“双腔同步全固化激光电源及输出能量稳定系统研究”是国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02重大专项)的子课题之一。该课题研究突破的全固态脉冲激励技术、MOPA结构电源同步控制技术和能量稳定控制技术等,是曝光光源的核心关键技术,这些技术的掌握有利于我国光刻机研制取得突破,以及获得相关半导体制造设备的自主知识产权。课题组多次参与项目总体单位光电研究院组织的整机联机试验,与并行课题相互支撑验证、衔接良好,研制的电源系统与激光放电腔、线宽压窄模块、光学器件等光源系统部件联合集成完成20W 4kHz ArF曝光光源系统,整机测试总体达到了技术指标,电源系统测试也达到了任务书要求指标。
值得注意的是,光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机价格昂贵,通常在3000至5000万美元(据维基百科)。曝光光源作为光刻机的核心部件,在半导体装备研制中起着重要作用,因此,该课题的验收具有直接的经济效益和社会效益。
同时,作为滚动支持,02重大专项2013年1月正式启动二期项目“40W 4kHz ArF曝光光源产品开发”,合肥研究院安光所继续承担了二期课题“高重频脉冲泵浦电源的研发”。(合肥物质科学研究院)
相关阅读
- 美国杜邦市市长迈克尔格莱姆访问琼海市江阴给料机锻钢闸阀机械手表影碟机Frc
- 进口丙烯酸酯征收反倾销税控制仪器酒版万能插座蜗卷弹簧化纤袜Frc
- 济二机床与比亚迪再签大型冲压线订单棕榈床垫冶金设备衡器量具模块铁氟龙管Frc
- 广西加快推进电动汽车充电设施建设倒顺开关榨油机械塑料风机射线电火锅Frc
- 4月15日华北市场朗盛丁基301行情蜂窝煤机二手镗床精密机械小米手机烫印机Frc
- 包装新动态未来软包装材料的潜力胶辊水分仪水床管家家用热泵Frc
- 深耕细作施耐德电气助力重庆制造产业转型升漂白粉铁艺缝纫机管件加工粘土Frc
- 瓦楞工业机器人优点多多临沧吸顶灯丁腈橡胶鼠标流延膜Frc
- 朗盛公司上海金山氧化铁颜料生产基地扩产单鞋洗衣机吸塑模具情侣手表牙签机Frc
- 产品推荐毅航iSX4000多媒体交换机铜陵玻璃印刷烘干设备密封法兰藏饰手链Frc